清洁度，作为一项有着悠久历史的质量指标，就是指产品被污染物所污染的程度。零部件表面的污染物多为切屑、毛刺、铸沙、焊渣、磨料等固体颗粒，这些污染物会加速零件的磨损，会堵塞元件的节流孔使元件失去调节功能，会进入滑阀间隙使阀芯卡死，会拉伤油缸内表面使泄漏增加或使输出力减小，会损坏泵的配油盘使泵烧伤或研死。
紫外线照射后产生的荧光是一种特殊形态的冷光。当荧光分析的电子吸收了光子后能量提高，但是这种状态并不稳定，它会马上变回初始状态并把吸收的能量再次释放出来，发出荧光。
由于部分能量转化成热量消耗了，所以发出的光线能量降低，波长也变长了。由于玷污物的荧光特性，通过一个含紫外光波的LED灯照射，清洁度灌流清洗设备即可探测出玷污物。仪器探头里的光电二极管负责测量UV荧光的强度。UV荧光越强表示污染程度越大，反之则越洁净。
对于平常清洁过程中的玷污物，清洁度灌流清洗设备的参数已经设计得尽可能合适。对于特殊的检验要求，它也可能适合LED的波长。
由于有机物被UV光激发后具有很强的自体荧光特性，因此仪器能够检查出油、油脂和残余表面活性剂的玷污物。此外，它也可能用于检查腐蚀或者已知厚度的蜡层。
清洁度灌流清洗设备的测量原理是共焦法，即激发光线和被激发而产生的光线在同一平行辐射轨迹上。因此，探头的灵活定位和在线测量都易于实现。基于这种测试原理，对于构成中不含或者含有轻微荧光性原料的零件，仪器都可以检测其清洁度。
